多晶和单晶

在本征半导体中，晶胞间不是规则排列的，好似方块杂乱无章地堆起来一样，每个方块代表一个晶胞，我们称之为多晶结构；当晶胞整洁而有规则地排列时，我们称其具有单晶结构。

单晶结构的材料相对于多晶结构来说具有更一致和更可预测的性质，单晶结构允许在半导体里一致和可预测性的电子流动，所以单晶结构是半导体器件所需的。

晶体定向

对于一个晶圆，除了要单晶结构，还需要有特定的晶向(crystal orientation)。在垂直平面或者角对角切割可以得到不同的平面，不同的原子数以及不同的原子间结合能，每个平面具有不同的化学、电学和物理特性。晶面一般通过一系列称为密勒指数的三个数字组合来表示，在硅晶圆中常使用的晶向<100>和<111>：

一般<100>晶向的晶圆被用来制造MOS器件，而<111>晶向的晶圆被用来制造双极型器件。